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一、 工藝概述

BK-VSD-1800 型真空鍍膜設(shè)備,是一款根據(jù)客戶需求設(shè)計(jì)的單體連續(xù)磁控濺射鍍膜設(shè)備。主要適應(yīng) PET、PC、玻璃等 基材制備 SiO2、NbOx、Si3N4、 Cr 、In、AL等膜層的鍍膜設(shè)備。該設(shè)備結(jié)合機(jī)械、電氣、控制、真空、加熱、傳動(dòng)、離子清洗、蒸發(fā)、磁控濺射、材料、化工等技術(shù)發(fā)展出來的高科技設(shè)備，適應(yīng)于現(xiàn)代工業(yè)鍍膜產(chǎn)業(yè)的要求，設(shè)備制備的膜層附著力強(qiáng)，膜層致密、均勻性好、成膜穩(wěn)定、效率高、智能化、故障率低、易維護(hù)等特點(diǎn)。

設(shè)備主要由真空腔體、工件傳動(dòng)機(jī)構(gòu)、低真空泵組、高真空泵組、離子源、磁控濺射系統(tǒng)、儀器儀表及自動(dòng)化控制系統(tǒng)組成。

二、 技術(shù)指標(biāo)

項(xiàng)目	技術(shù)指標(biāo)
有效鍍膜尺寸	Φ1800×1300mm(以實(shí)際設(shè)計(jì)為準(zhǔn))
工件轉(zhuǎn)速	公轉(zhuǎn)1~100r/min無極可調(diào)；
極限真空	5×10-4Pa（空載潔凈）
抽氣速率	大氣到 5×10-3Pa≤25min（所有腔體破真空后重新關(guān)門抽氣開始計(jì)算時(shí)間，空載潔凈。）
檢漏漏率	≤5x10-10Pa·m3/sec
加熱溫度	基板溫度≤150℃
靶材長(zhǎng)度	1700mm
有效濺射長(zhǎng)度	約1300 mm

                   

三、 設(shè)備結(jié)構(gòu)

1.腔體結(jié)構(gòu)

1.1真空腔體

a) 材質(zhì)：真空腔體采用SUS304不銹鋼材質(zhì)

b) 腔室分為2個(gè)腔室；

c) 進(jìn)片抽氣室——工藝腔室；

d) 真空室底部有私服工裝驅(qū)動(dòng)。

e) 頂部有粗抽閥門。

f) 防污格柵和內(nèi)壁是卡扣結(jié)構(gòu)方便拆卸。（并備一套備用）

g) 靶位設(shè)置檢修門，便于保養(yǎng)和維修；

h) 靶位周圍配有觀察窗，便于觀察腔內(nèi)工作狀況；

i) 腔體外表面噴塑，內(nèi)表面拋光處理。

1.2鍍膜

a) 四對(duì)靶使用2個(gè)20KW中頻控制；

b) 離子源系統(tǒng)一套；

c) 蒸發(fā)系統(tǒng)兩套。

d) 完成離子清洗，NbOx、SiO2、Si3N4的濺射鍍膜。

e) CCR離子源 LS1300 一套

1.3真空室防塵板

a) 采用SUS304不銹鋼材質(zhì)，厚度1.2mm，表面噴砂處理，此厚板不容易變形，且重量適中。

b) 全封閉式擋塵板，有效防護(hù)真空室內(nèi)壁污染。

c) 擋塵板采用彈簧插針式固定，方便快捷。

2.低真空排氣系統(tǒng)

2.1機(jī)械泵                      1臺(tái)

a) 廠家及型號(hào)： SV630B萊寶

b) 排氣速度：630 M³/h

c) 冷卻方式：水冷

2.2羅茨泵                      1臺(tái)

a) 廠家及型號(hào)：WH7000萊寶

b) 排氣速度：7000M³/h

c) 控制方式：變頻器調(diào)速控制真空度

2.2機(jī)械泵                      1臺(tái)

a) 廠家及型號(hào)： SV300B萊寶

b) 排氣速度：300 M³/h

2.2羅茨泵                      1臺(tái)

a) 廠家及型號(hào)：WAU501

b) 排氣速度：500M³/h

2.3粗抽閥

a) 廠家及型號(hào)：HANA  LV-08      1臺(tái)

b) 材質(zhì)：SUS304不銹鋼

c) 運(yùn)行方式：氣動(dòng)

d) 表面處理方式：噴砂

2.4粗抽管道                     1套

a) 規(guī)格：DN200

b) 管道材質(zhì)：SUS304不銹鋼

c) 接口法蘭材質(zhì)：SUS304不銹鋼

3. 高真空排氣系統(tǒng)

3.1分子泵                       6臺(tái)

a) 型號(hào)：TMP-V3304LM島津 

b) 排氣速度：3200 L/S

3.2擴(kuò)散泵                       1臺(tái)

c) 型號(hào)：DP-28

d) 排氣速度：26000 L/S

3.3翻板閥                            1臺(tái)

a) 型號(hào)：1500D

b) 材質(zhì)：SUS304不銹鋼

c) 運(yùn)行方式：氣動(dòng)

d) 表面處理方式：噴砂

4.超低溫系統(tǒng)

4.1超級(jí)冷凍機(jī)                      1臺(tái)

a) 廠家及型號(hào)：天寒 TH-135-32Ax

b) 極限溫度：-135℃

c) 功率：12Kw

5.工藝氣體進(jìn)入系統(tǒng)

5.1  MFC   Ar                  15套

a) 廠家：國(guó)產(chǎn)

b) 規(guī)格：Ar 1000Sccm

5.2  MFC   AR                  6套

a) 廠家：國(guó)產(chǎn)

b) 規(guī)格：AR 200Sccm

5.3  MFC   O₂                    6套

a) 廠家：國(guó)產(chǎn)

b) 規(guī)格： O₂ 500Sccm

6.電氣系統(tǒng)

6.1 濺射電源                         2套

a) 廠家：國(guó)產(chǎn)

b) 型號(hào)：20KW（MF）

c) 參數(shù)： 20KW,  

6.2 射頻電源                         1套

a) 廠家：霍廷格 

b) 型號(hào)：RF3006

c) 參數(shù)： 6KW,  

6.3工裝驅(qū)動(dòng)馬達(dá)                      4臺(tái)

a) 廠家： 松下 

6.4  CCR離子源                         1套

d) 廠家：德國(guó) 

e) 型號(hào)：LS1300

f) 參數(shù)： 6KW,  

7.真空監(jiān)測(cè)系統(tǒng)

7.1低真空測(cè)量規(guī)                  6組

a) 廠家：英富康

b) 規(guī)格：PSG500

c) 測(cè)量范圍：5.0x10² - 1.0X10^-3Torr 

7.2半量程測(cè)量規(guī)                  2組

a) 廠家：英富康

b) 規(guī)格：IKR251

c) 測(cè)量范圍：.1.0x10^-3 - 3.8X10^-9Torr

8離子源

a） 離子源結(jié)構(gòu)：線性離子源       1套

b） 工藝電源：國(guó)產(chǎn)離子源電源   1臺(tái)

9旋轉(zhuǎn)陰極

  a）SiO2 磁控濺射                 2對(duì)

  b）NbOx/Si3N4 磁控濺射          2對(duì)

1、每對(duì)旋轉(zhuǎn)陰極單獨(dú)一組流量計(jì)和布?xì)夤艿肋M(jìn)行供氣；

2、每對(duì)旋轉(zhuǎn)陰極單獨(dú)一臺(tái)電源控制

3、靶水循環(huán)、吹水控制系統(tǒng)，配有水流、水溫傳感器，冷卻水異常時(shí)報(bào)警及保護(hù)；

10 AF蒸發(fā)

自動(dòng)添料AF蒸發(fā)（4-6組蒸發(fā)點(diǎn)）

11 工件移栽系統(tǒng)

 

12控制系統(tǒng)

控制模式：自動(dòng)模式、手動(dòng)模式、維修模式；

自動(dòng)模式：自動(dòng)抽氣、執(zhí)行工藝、停機(jī)保壓、放氣開腔； 提供工藝配方設(shè)置與存儲(chǔ)；

具有水壓、水流、氣壓不足、閥門未到位、設(shè)備過載、誤操作、停電等保護(hù)及互鎖功能；

真空計(jì)、流量計(jì)、變頻器、離子源、濺射電源等通過人機(jī)界面來集成控制，提高設(shè)備自動(dòng)化程度，減少設(shè)備帶來的干擾及降低人為失誤造成的損失；

報(bào)警信息、實(shí)時(shí)趨勢(shì)及時(shí)反饋和記錄；  歷史參數(shù)能夠?qū)С觯奖惴治龊蜌w檔；  用戶和權(quán)限管理保障運(yùn)行的可靠和安全。

控制單元：三菱PLC

l 人機(jī)界面：彩色液晶觸摸屏

l 可視化界面

l 參數(shù)直觀顯示

l 在線顯示機(jī)器狀態(tài)和過程值

l 顯示歷史數(shù)據(jù)，趨勢(shì)圖

l 菜單操作：

整套工藝參數(shù)和適當(dāng)?shù)南拗浦悼梢詢?chǔ)存在系統(tǒng)中，在需要是可以輸入編號(hào)調(diào)出。避免各個(gè)參數(shù)變化。

l 生產(chǎn)和質(zhì)量監(jiān)控：

記錄所以相關(guān)的生產(chǎn)和工藝參數(shù)。

存儲(chǔ)在設(shè)備中的數(shù)據(jù)存儲(chǔ)通過串行接口傳輸?shù)狡渌娔X用于長(zhǎng)期儲(chǔ)存和評(píng)估。

l 維護(hù)和診斷功能：

預(yù)防性維護(hù)喲運(yùn)行時(shí)泵的監(jiān)控及下列活動(dòng)支持：

2 報(bào)警和錯(cuò)誤報(bào)告系統(tǒng)

2 通過網(wǎng)絡(luò)通訊進(jìn)行遠(yuǎn)程系統(tǒng)診斷